Продолжаем публиковать лучшие работы, полученные с помощью локального анодного окисления:

Точность позиционирования нанолитографии также находится в нанометровом диапазоне. Температурный дрейф, достигаемый без использования дополнительных систем термостабилизации, может составлять единицы нанометра в минуту. Разработанный НПП "Центр перспективных технологий" сканирующий зондовый микроскоп "ФемтоСкан" оборудован системой точного перемещения образца в диапазоне 15–25 мкм. При этом минимальный шаг пьезокерамического манипулятора составляет около 0,001 нм. Дополнительное 3D-позиционирование осуществляется с помощью механической системы скольжения с использованием шаговых двигателей и редукторов. Диапазон позиционирования по осям OХ и OY составляет около 10 мм, минимальный шаг перемещения – 50 нм. Диапазон перемещения по оси OZ – около 8 мм, минимальный шаг  – 25 нм.